JIS C 5630-28-2020 半导体器件 微机电器件 第28部分：振动驱动MEMS驻极体能量收集装置的性能测试方法.pdf

JIS O 夕口及U MEMS-第28部： MEMS工L夕卜L少卜振動凳電宁八亻久 性能試験方法 JISC5630-28:2020 (IEC62047-28:2017) (MMC/JSA) 合和2年3月23日制定 日本產業標準調查会審議 (日本規格協会凳行) 答作榴法仁上)熊断视，餐等禁止老扎了书求文， C5630-28:2020(IEC62047-28:2017) 日本產案標準查会標准第二部会構成表 氏名 所属 (部会) 大崎博之 束京大学 (委具) 青柳惠美子 公益社团法人日本消费生活了下八一口>儿夕少卜相员協会 伊藤智 一般社团法人情報处理学会情報規格调查会 (国立研究開凳法人新工示儿羊一產柔技術合開凳機横) 岩浏幸吾 一般社团法人電子情報技術童業協会 内田富雄 一般财团法人日本規格協会 江崎正IEC/SMB日本代表委具(二一株式会社) 住谷淳吉一般财团法人電氨安全環境研究所 高村里子 全国地域婦人团体速格協議会 田中一彦一般社团法人日本電機工業会 橋爪弘一般社团法人飞少来久機械情報少久么產業協会 平田真幸IEC/CAB日本代表委具（富士书口少夕久株式会社） 藤原异一般社团法人電氨学会 水本哲弥東京工粱大学 山根香織 主婦速合会 主務大臣：释济童業大臣 制定：合和2.3.23 官報揭载日：和2.3.23 原案作成者：一般財团法人了亻少口了少七夕一 (宁101-0026東京都千代田区神田佐久間河岸67MBR99飞/TEL03-5835-1870) 一般财团法人日本规格会 (平108-0073束京都港区三田3-13-12三田MTE/TEL03-4231-8530) 密議部会：日本童標调查会準第二部会（部会長大崎博之） 二规格2℃意见又法質法，上記原案作成者又法释济產柔省童業技衔環境局国際電氨標准课（行100-8901 東京都千代田区霞力明1-3-1)仁二速格《龙老. 书，日本產棠規格法，童業華化法規定二上℃，少存《上5年堂轻過亨日宗℃仁日本童業樱準调查会密 議仁付机，速中办加，認，改正又法晓止亨. 作催法上所℃夜乳，枝等法禁止芒扎℃书李. C5630-28:2020(IEC62047-28:2017) 目次 心一 序文 1適用範团…… 2引用规格…… 3用語及定義…… 1 4振動试0装置…… 2 4.1一般…… …2 4.2振動凳生装置…… 4.3取付寸亏少卜 3 4.4振動測定器又加速度测定器…… 3 4.5出力测定器 …3 4.6宁一夕記绿器 3 5供試用MEMS工L夕卜L少卜振動凳電宁八久…… 3 5.1一般 3 5.2電氨的出力 3 6試条件…… 3 6.1振動周波数…… 6.2振動加速度 6.3波形…… 6.4外部负荷…… 6.5試驗時間…… 6.6试璟境………7测定手順…… 7.1一般…… 7.2振動周波数答…… ...