GB/T 11446.1-2013 电子级水.pdf
文档页数：8文档大小：248.23KB文档格式：pdfICS31-030 L90 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T11446.1—2013 代替GB/T11446.1一1997 电子级水 Electronic grade water 2013-12-31发布 2014-08-15实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T11446.1-2013 前 言 GB/T11446预计结构如下： 一—GB/T11446.1电子级水； —GB/T11446.2(待定)； GB/T11446.3电子级水测试方法通则； GB/T11446.4电子级水电阻率的测试方法； —GB/T11446.5电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法； GB/T11446.6电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法； —GB/T11446.7电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法； —GB/T11446.8电子级水中总有机碳的测试方法； ——GB/T11446.9电子级水中微粒的仪器测试方法； GB/T11446.10电子级水中细菌总数的滤膜培养测试方法， 本部分为GB/T11446的第1部分. 本部分按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本部分代替GB/T11446.1一1997《电子级水》. 本部分与GB/T11446.1一1997相比，主要有下列变化： 一“3术语和定义”中增加了“离子交换树脂”、“无菌”和“H”的定义（见第3章）； —修改了“5要求”中“EW-Ⅱ”、“EW-Ⅲ”和“EW-V”级水的电阻率指标（见第5章）； 一修订了“5要求”中“EW-I”、“EW-Ⅱ”、“EW-Ⅱ”和“EW-V”级水的微粒数指标（见第5章）； 一一“5要求”中增加了“铁”和“铅”金属离子及“氟”、“亚硝酸根”和“溴”阴离子的要求和指标（见 第5章)； ——“6试验方法”中增加了“铁”、“铅”、“氟离子”、“亚硝酸根离子”和“溴离子”的检测方法（见 第6章). 本部分由中华人民共和国工业和信息化部提出. 本部分由中国电子技术标准化研究院归口. 本部分起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国科学院半导体研究所、中国电子技 术标准化研究院、中国电子科技集团公司第四十六研究所. 本部分主要起草人：褚连青、王奕、何秀坤、段曙光、提刘旺、刘筠. 本部分所代替标准的历次版本发布情况为： GB/T11446.1-1989、GB/T11446.1-1997L GB/T11446.1-2013 电子级水 1范围 GB/T11446的本部分规定了电子级水的级别、技术指标要求、试验方法和检验规则. 本部分适用于电子和半导体工业用高纯清洗用水. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB/T11446.3一2013电子级水测试方法通则 GB/T11446.4-2013电子级水电阻率的测试方法 GB/T11446.5一2013电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法 GB/T11446.6一2013电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法 GB/T11446.7一2013电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法 GB/T11446.8一2013电子级水中总有机碳的测试方法 GB/T11446.9一2013电子级水中微粒的仪器测试方法 GB/T11446.10一2013电子级水细菌总数的滤膜培养测试方法 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件. 3.1 电子级水e...
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