GB/T 15862-2012 离子注入机通用规范.pdf

ICS31-550 L97 gB 中华人民共和国国家标准 GB/T15862-2012 代替GB/T15862一1995 离子注入机通用规范 General specification of ion implantation equipment 2012-11-05发布 2013-02-15实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T15862-2012 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本标准代替GB/T15862一1995《离子注入机通用技术条件》. 本标准与GB/T15862一1995相比主要变化如下： —GBn193一1983由GB/T13384一1992代替； —增加术语“注入角度”（见3.6）、“最大晶片传输效率”（见3.7），并在性能指标及测试方法中做 相应要求（见6.4.6）； —环境温度调整为23℃士2℃；相对湿度规定范围30%~50%（见5.1.3）； 一一安全要求中增加“警示标识”的条款（见6.3.1）； —去掉表3、表4； -一均匀性测量增加了热波探针法测量条件和方法（见6.4.4.1b)); 一重复性测量增加了批间重复性测量方法（见6.4.5.2）； 检验规则去掉例行检验项. 本标准由中华人民共和国工业和信息化部提出. 本标准由中国电子技术标准化研究所归口. 本标准起草单位：中国电子科技集团公司第四十八研究所. 本标准主要起草人：郭健辉、彭立波、罗宏洋. 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： —GB/T15862—1995. GB/T15862-2012 离子注入机通用规范 1范围 本标准规定了离子注人机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输贮存. 本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机.其他离子注人机亦可参照使用. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB/T191包装储运图示标志 GB/T4857.7一2005包装运输包装件基本试验第7部分：正弦定频振动试验方法 GB/T5080.7一1986设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试 验方案 GB/T6388一1986运输包装收发货标志 GB/T13384-1992机电产品包装通用技术条件 GB18209.1机械安全指示、标志和操作第1部分：关于视觉、听觉和触觉信号的要求 SJ/T142电子工业专用设备通用规范 SJ/T1276金属镀层和化学处理层质量检验技术要求 SJ/T10674涂料涂覆通用技术条件 3术语 下列术语和定义适用于本文件. 3.1 束能量beam energy 到达靶上离子所具有的动能. 注：单位为电子伏特(eV). 3.2 着靶束流beam current on target 单位时间内靶上接收到的离子束电荷量. 注：单位为安培(A). 3.3 均匀性uniformity 表征注入离子剂量不均匀的程度.用相对标准偏差表示. 3.4 重复性repeatability 表征片间（或批间）在相同条件下注入离子剂量不重复的程度，用相对标准偏差表示. 1 ...