T/NLIA 0022021 汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真规范.pdf

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文档页数:9文档大小:268.35KB文档格式:pdf

ICS031.260 C3670 团 体 标准 T/NLIA002—2021 汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真规范 Simulation Specification for Potting Process of Automotive MEMS Pressure Sensor 2021-04-26发布 2021-06-01实施 武汉中国光谷激光加工产业技术创新战略联盟 武汉激光学会 发布 T/NLIA 002—2021 目次 前言 Ⅱ 1范围 2规范性引用文件 .1 3术语与定义.4一要求2 5仿真流程 2 I ...

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